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光學(xué)相控陣芯片能夠控制光束空間掃描，在激光雷達(dá)、三維掃描、三維成像、激光測(cè)距等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。本成果是一種硅和氮化硅混合光波導(dǎo)的，大角度掃描、窄發(fā)散角的光學(xué)相控陣芯片，集成了光耦合器、分束器、PN結(jié)型和熱光型相位調(diào)制器、單波導(dǎo)雙光柵單向輻射器等。目前光束發(fā)散角0.021度×0.027度，橫向市場(chǎng)掃描角度可以達(dá)到140度，縱向通過(guò)調(diào)節(jié)波長(zhǎng)，可以達(dá)到19度，點(diǎn)點(diǎn)切換時(shí)間30微秒，平均功耗小于1微瓦。